GB/T 46699-2025 電子級四甲基硅烷

范圍
本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級四甲基硅烷的技術(shù)要求、檢驗規(guī)則、包裝、標(biāo)志、隨貨資料、運輸、貯存及安全警告的要求，描述了相應(yīng)的檢測方法。
本文件適用于沉積氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的電子級四甲基硅烷，作為集成電路的刻蝕硬掩層、介電層等功能層；也適用于高純電子清洗劑和標(biāo)準(zhǔn)試劑的電子級四甲基硅烷。

術(shù)語和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。

技術(shù)要求
電子級四甲基硅烷應(yīng)符合表1的規(guī)定。




檢測方法
水分含量的測定
所用微量水分測定儀應(yīng)符合 GB/T 26793 規(guī)定，測定方法應(yīng)按 GB/T 6324.8 的規(guī)定執(zhí)行。
可采用其他等效的方法測定四甲基硅烷中水含量。當(dāng)測定結(jié)果有異議時，以 GB/T 6324.8 規(guī)定的方法為仲裁方法。
GB/T 26793-2011 庫侖法微量水分測定儀

GB/T 6324.8-2014 有機(jī)化工產(chǎn)品試驗方法 第8部分: 液體產(chǎn)品水分測定 卡爾·費休庫侖電量法


京都電子KEM 卡爾費休庫侖電量法水分測定儀 MKC-710S