T/ICMtia 5.2-2020 集成電路用ArF浸沒式光刻膠

范圍
本文件規(guī)定了ArF浸沒式光刻膠的要求、試驗(yàn)方法、檢測標(biāo)準(zhǔn)及包裝、運(yùn)輸、存儲。
本文件適用于集成電路用ArF浸沒式光刻膠。

術(shù)語和定義
ArF: Argon Fluoride 氟化氬
PFA: Perfluoroalkoxy alkane 全氟烷氧基樹脂
NMP: N-甲基吡咯烷酮
PGMEA: 丙二醇甲醚醋酸酯
浸出速率: Leaching test

技術(shù)要求
性狀
無色至淡微黃色透明液體。


試驗(yàn)方法
水分
卡爾·費(fèi)休庫侖法
按 GB/T 6324.8 的規(guī)定測定。
GB/T 6324.8-2014 有機(jī)化工產(chǎn)品試驗(yàn)方法 第8部分: 液體產(chǎn)品水分測定 卡爾·費(fèi)休庫侖電量法
卡爾·費(fèi)休容量法
按 GB/T 606 的規(guī)定測定。
GB/T 606-2003 化學(xué)試劑 水分測定通用方法 卡爾·費(fèi)休法
測試方法的選擇
當(dāng)樣品中含水量較高時，推薦使用卡爾·費(fèi)休容量法；含水量較小時(1000ppm以下)，使用卡爾·費(fèi)休庫侖法能得到更準(zhǔn)確的結(jié)果。

京都電子KEM 卡爾·費(fèi)休庫侖法水分測定儀 MKC-710S

京都電子KEM 卡爾·費(fèi)休容量法水分測定儀 MKV-710S