GB/T 30901-2025 高純氟化銨溶液

范圍
本文件規(guī)定了高純氟化銨溶液的分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志和隨行文件、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本文件適用于高純氟化銨溶液。
注：該產(chǎn)品主要應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏電池、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業(yè)。

術(shù)語(yǔ)和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。

分子式和相對(duì)分子質(zhì)量
分子式：NH₄F。
相對(duì)分子質(zhì)量：37.04(按2022年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)。

分類
高純氟化銨溶液按用途分為5個(gè)等級(jí)：
a) EL級(jí)：主要用于太陽(yáng)能光伏電池及液晶顯示器件等的制造；
b) UP級(jí)：主要用于線寬為0.8μm~1.2μm集成電路的清洗與蝕刻；
c) UP-S級(jí)：主要用于線寬為0.2μm~0.8μm集成電路的清洗與蝕刻；
d) UP-SS級(jí)：主要用于線寬為0.09μm~0.2μm集成電路的清洗與蝕刻；
e) UP-SSS級(jí)：主要用于線寬小于0.09μm集成電路的清洗與蝕刻。

要求
外觀：無(wú)色透明液體。
高純氟化銨溶液按本文件規(guī)定的試驗(yàn)方法檢測(cè)應(yīng)符合表1的規(guī)定。




試驗(yàn)方法
氟化銨含量的測(cè)定
原理
使用電位滴定法測(cè)定氟化銨含量，電極與試樣溶液組成一個(gè)工作電池，用NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定。在滴定終點(diǎn)附近，氫離子(H⁺)濃度發(fā)生突變，引起電極電位的突躍，根據(jù)突躍確定滴定終點(diǎn)。

試劑和材料
NaoH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液：c(NaOH)≈1.0mol/L。

儀器設(shè)備
自動(dòng)電位滴定儀：符合 JJG 814-2015 規(guī)定的0.1級(jí)別要求，并配有復(fù)合pH電極。

試驗(yàn)步驟
在帶蓋的150mL塑料燒杯中加入約60mL水，稱量，用塑料管加入1.5g~2.5g試樣，再稱量，2次稱量均精確至0.0002g，差減計(jì)算所稱取試樣的質(zhì)量。用水沖洗燒杯壁加水至70mL~80mL，將燒杯置于自動(dòng)電位滴定儀的滴定臺(tái)上，將電極和滴定頭浸入液面以下。按儀器操作要求將自動(dòng)電位滴定儀調(diào)試至工作狀態(tài)，開啟攪拌并用NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液進(jìn)行滴定，記錄每個(gè)滴定終點(diǎn)消耗NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積。
滴定終點(diǎn)的情況分為以下2種：
a) 出現(xiàn)2個(gè)滴定終點(diǎn)時(shí)(滴定曲線見示例1)，分別記錄第1滴定終點(diǎn)消耗的體積(V₁)和第2滴定終點(diǎn)消耗的體積(V₂)；
b) 只出現(xiàn)1個(gè)滴定終點(diǎn)時(shí)(滴定曲線見示例2)，記錄這個(gè)滴定終點(diǎn)消耗的體積(V)。
示例1：

示例2：


試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理
出現(xiàn)2個(gè)滴定終點(diǎn)時(shí)氟化銨含量的計(jì)算
氟化銨含量以氟化銨(NH₄F)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)ω₁計(jì)，按公式(1)計(jì)算：

式中：
V₂——第2滴定終點(diǎn)所消耗NaoH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積的數(shù)值，單位為毫升(mL)；
V₁——第1滴定終點(diǎn)所消耗NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積的數(shù)值，單位為毫升(mL)；
c ——NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液濃度的準(zhǔn)確數(shù)值，單位為摩爾每升(mol/L)；
M ——氟化銨(NH₄F)摩爾質(zhì)量的數(shù)值，單位為克每摩爾(g/mol)(M=37.04)；
m ——試料的質(zhì)量的數(shù)值，單位為克(g)。
取平行測(cè)定結(jié)果的算術(shù)平均值為測(cè)定結(jié)果，兩次平行測(cè)定結(jié)果的差值不大于0.1%。
出現(xiàn)1個(gè)滴定終點(diǎn)時(shí)氟化銨含量的計(jì)算
氟化銨含量以氟化銨(NH₄F)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)ω₁計(jì)，按公式(2)計(jì)算：

式中：
V ——滴定所消耗NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積的數(shù)值，單位為毫升(mL)；
c ——NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液濃度的準(zhǔn)確數(shù)值，單位為摩爾每升(mol/L)；
M ——氟化銨(NH₄F)的摩爾質(zhì)量的數(shù)值，單位為克每摩爾(g/mol)(M=37.04)；
m ——試料的質(zhì)量的數(shù)值，單位為克(g)。
取平行測(cè)定結(jié)果的算術(shù)平均值為測(cè)定結(jié)果，兩次平行測(cè)定結(jié)果的差值不大于0.1%。


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